新型激光跟蹤測量系統的設計

基于多邊法原理,設計出一種新型的激光跟蹤測量系統.該系統采用四象限光電池作傳感器,準確地測量目標鏡反射光線的位置,測量靈敏度為200mV/mm;以雙電機驅動的雙軸單轉鏡作跟蹤機構,結構簡單,運動靈巧,立體轉角約±35(;模擬式PID與數字式PID相結合的控制方案,控制精度高,跟蹤速度快.實驗表明,系統跟蹤速度優于0.7m/s,綜合測量精度1.3μm.

作 者： 隋修武 張國雄 趙樹忠 劉麗亞   作者單位： 天津大學,精密測試技術及儀器國家重點實驗室,天津,300072  刊 名： 光電工程  ISTIC PKU 英文刊名： OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING  年，卷(期)： 2005 32(1)  分類號： V556.7  關鍵詞： 激光跟蹤系統   坐標測量   數字式PID   光電位置檢測器  

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