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納米電子器件呼喚真空化學(xué)研究

時(shí)間:2023-04-30 21:15:06 航空航天論文 我要投稿
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納米電子器件呼喚真空化學(xué)研究

作 者: 李建昌 侯士敏 張兆祥   作者單位:   刊 名: 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)  ISTIC EI PKU 英文刊名: VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年,卷(期): 1999 19(6)  分類號:   關(guān)鍵詞:  

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