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振子框架式微機械陀螺的優化設計及電學模擬

時間:2023-04-27 09:33:17 航空航天論文 我要投稿
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振子框架式微機械陀螺的優化設計及電學模擬

根據驅動模態頻率和檢測模態的頻率相互匹配,用有限元法優化了振子框架式微機械陀螺的結構尺寸;根據建立的陀螺振動的等效電路模型,對檢測振動的性能進行了模擬分析,該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎.

作 者: 車錄鋒 熊斌 王躍林   作者單位: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所,傳感技術國家重點實驗室,上海,200050  刊 名: 航空學報  ISTIC EI PKU 英文刊名: ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA  年,卷(期): 2002 23(3)  分類號: V241.5 O318 O327  關鍵詞: 微機械陀螺   優化設計   等效電路模型   模擬  

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