MEMS陀螺正交誤差分析與仿真

針對MEMS陀螺由于機械耦合引起的正交誤差,建立了包含誤差的MEMS陀螺動力學方程,在開環檢測和閉環檢測情況下,分別對正交誤差進行了分析,并通過相關檢測技術抑制正交誤差對陀螺性能的影響,提取出角速度信息.運用Simulink對陀螺進行了建模仿真,仿真結果表明:在開環檢測和閉環檢測情況下都能夠有效消除正交誤差的影響,由此驗證了理論分析的正確性.

作 者： 溫佰仟 劉建業 李榮冰 WEN Bai-qian LIU Jian-ye LI Rong-bing   作者單位： 南京航空航天大學,導航研究中心,江蘇,南京,210016  刊 名： 傳感器與微系統  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2008 27(9)  分類號： V241.5  關鍵詞： 微電子機械系統   陀螺   正交誤差   機械耦合   平均化分析方法  

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