一種適合于大量制備行波SOA增透膜新技術

提出了一種適合于批量制備SOA減反膜的實時監控技術.監控系統簡單,操作方便,可以應用于國產鍍膜機.由此技術批量制備SOA,腔面剩余反射均接近10-4.

作 者： 段子剛 劉德明   作者單位： 段子剛(深圳大學,光電子學研究所,廣東省光電子器件與系統重點實驗室,深圳,518060)

劉德明(華中科技大學,光電子工程系,武漢,430074) 

刊 名： 激光技術  ISTIC PKU 英文刊名： LASER TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 28(5)  分類號： O484.1 TN248.4  關鍵詞： 半導體光放大器   增透膜   剩余反射   適時監控  

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