感光薄膜與二維Bragg光柵制備

微細的二維Bragg光柵在光信息領域有重要應用,傳統的干法或濕法蝕刻在高密度格子制備方面有很大難度,研究合成了具有紫外感光性的含鋯溶膠,進一步在硅和石英基板上制備了含鋯感光性凝膠薄膜,直接利用這種感光性凝膠薄膜,結合激光干涉技術和熱處理過程,可在硅基板或石英基板上制備出反射型或透過型二維Bragg格子光柵,X-射線衍射表明,經過熱處理后構成格柵的材料為多晶的四方相ZrO2,這類光柵不含有機物,衍射光符合Bragg條件,格子的周期為1μm,格柵線條或柵孔尺寸約0.5μm.

作 者： 趙高揚 張衛華 王哲哲 趙衛 蔣百靈   作者單位： 趙高揚,張衛華,王哲哲,蔣百靈(西安理工大學,材料科學與工程學院,西安,710048)

趙衛(中國科學院,西安精密光學機械研究所,西安,710068) 

刊 名： 自然科學進展  ISTIC PKU 英文刊名： PROGRESS IN NATURAL SCIENCE  年，卷(期)： 2007 17(2)  分類號： O6  關鍵詞： 二氧化鋯   薄膜   感光性   二維格子   激光干涉  

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