超薄型Pt膜溫度傳感器的微加工技術研究

為了掌握采用激光微加工技術加工超薄型Pt膜溫度傳感器的最佳工藝參數,文中采用聲光調Q原理的Nd-YAG激光劃片機加工Al2O3陶瓷基體,研究激光工藝參數與傳感器基體上刻槽深度與寬度的關系,以及采用調-阻機加工Pt薄膜電阻,研究激光調阻工藝參數與調阻精確度的關系.

作 者： 馮僑華 施云波 FENG Qiao-hua SHI Yun-bo   作者單位： 哈爾濱理工大學,測控技術與通信工程學院,黑龍江,哈爾濱,150040  刊 名： 哈爾濱理工大學學報  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 12(5)  分類號： O439 TP212.11  關鍵詞： 激光精密加工   激光劃片   激光調阻   超薄型Pt膜溫度傳感器  

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