超薄型Pt膜溫度傳感器的微加工技術(shù)研究

為了掌握采用激光微加工技術(shù)加工超薄型Pt膜溫度傳感器的最佳工藝參數(shù),文中采用聲光調(diào)Q原理的Nd-YAG激光劃片機(jī)加工Al2O3陶瓷基體,研究激光工藝參數(shù)與傳感器基體上刻槽深度與寬度的關(guān)系,以及采用調(diào)-阻機(jī)加工Pt薄膜電阻,研究激光調(diào)阻工藝參數(shù)與調(diào)阻精確度的關(guān)系.

作 者： 馮僑華 施云波 FENG Qiao-hua SHI Yun-bo   作者單位： 哈爾濱理工大學(xué),測控技術(shù)與通信工程學(xué)院,黑龍江,哈爾濱,150040  刊 名： 哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 12(5)  分類號： O439 TP212.11  關(guān)鍵詞： 激光精密加工   激光劃片   激光調(diào)阻   超薄型Pt膜溫度傳感器  

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