450mm晶圓緩行

為了提高產品的生產率和利潤,近年來晶圓面積不斷擴大,大約每10年升級一次.1991年業界開始投產200mm晶圓,2001年起步向300mm晶圓過渡,依次類推.

作 者： 陶然   作者單位：   刊 名： 電子產品世界  ISTIC 英文刊名： ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD  年，卷(期)： 2008 15(12)  分類號：   關鍵詞：  

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