SOG技術及其新進展

SOG材料與傳統SOI材料一樣,擁有許多優良的電學性能,例如SOG電路具有高開關速度、高密度、低壓和低功耗等優點.同時由于SOG材料具有突出的光電性能,在太陽能電池和液晶顯示器等光電設備中也有著廣泛的應用,引起了人們越來越廣泛的關注.本文綜述了SOG材料的特點和應用,著重介紹了SOG材料的各種制備方法和新進展.

作 者： 宋華清 石兢 林成魯   作者單位： 宋華清(中國科學院上海微系統與信息技術研究所,上海,200050;武漢大學物理科學與技術學院,湖北,武漢,430072)

石兢(武漢大學物理科學與技術學院,湖北,武漢,430072)

林成魯(中國科學院上海微系統與信息技術研究所,上海,200050) 

刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(3)  分類號： O484.1  關鍵詞： SOG   SOI   外延層轉移   智能剝離  

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