靜電自組裝技術(shù)及其應(yīng)用

靜電自組裝技術(shù)有許多優(yōu)點(diǎn):工藝簡單,能精確控制膜厚,每層膜厚都能控制在分子級水平,膜的穩(wěn)定性較傳統(tǒng)方法有較大提高,適用于制造大面積的薄膜器件.本文綜述了靜電自組裝技術(shù)的特點(diǎn)、注意事項(xiàng)及其應(yīng)用前景.

作 者： 李小甫 余海湖 姜德生   作者單位： 武漢理工大學(xué)光纖傳感技術(shù)研究中心,武漢,430070  刊 名： 高技術(shù)通訊  ISTIC EI PKU 英文刊名： HIGH TECHNOLOGY LETTERS  年，卷(期)： 2002 12(11)  分類號： O441  關(guān)鍵詞： 分子器件   靜電自組裝   薄膜,平面光波導(dǎo)  

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