靜電自組裝技術及其應用

靜電自組裝技術有許多優點:工藝簡單,能精確控制膜厚,每層膜厚都能控制在分子級水平,膜的穩定性較傳統方法有較大提高,適用于制造大面積的薄膜器件.本文綜述了靜電自組裝技術的特點、注意事項及其應用前景.

作 者： 李小甫 余海湖 姜德生   作者單位： 武漢理工大學光纖傳感技術研究中心,武漢,430070  刊 名： 高技術通訊  ISTIC EI PKU 英文刊名： HIGH TECHNOLOGY LETTERS  年，卷(期)： 2002 12(11)  分類號： O441  關鍵詞： 分子器件   靜電自組裝   薄膜,平面光波導  

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