直流等離子體法中脫膜開裂的金剛石膜組織結構分析

為了解決用直流等離子體噴射法制備金剛石膜在脫膜過程中膜體開裂的問題,本文對3組脫膜開裂的金剛石膜組織結構進行了分析,發現由熱應力作用產生的裂紋形貌隨沉積溫度的不同而呈現網狀、河流狀和環狀,裂紋尖端的膜體具有最小的Raman 譜峰半高寬值.在所研究的溫度范圍內,膜體斷口都是穿晶斷裂和沿晶斷裂的混合斷口,而且斷口面中的占優晶面都是{111}晶面.X射線和Raman譜結果還表明沉積溫度愈高,膜體中的殘余應力愈大.

作 者： 陳廣超 李成明 張恒大 楊膠溪 佟玉梅 唐偉忠 呂反修   作者單位： 北京科技大學材料科學與工程學院,北京,100083  刊 名： 人工晶體學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS  年，卷(期)： 2003 32(5)  分類號： O484  關鍵詞： 金剛石膜   裂紋   組織   晶面   直流等離子體噴射  

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