多功能微波等離子體教學研究裝置的研制

針對目前國內(nèi)等離子體技術的教學和研究遠遠落后于工程應用的實際情況,開發(fā)了多功能微波等離子體教學研究裝置.該裝置利用頻率2.45 GHz的微波激勵稀薄氣體放電,形成軸對稱的等離子體球,產(chǎn)生的等離子體無內(nèi)部電極,可避免放電污染.同時通過微波技術、真空技術、冷卻技術的集成,使該裝置結(jié)構緊湊、性能穩(wěn)定、性價比較高.利用該裝置進行了金剛石薄膜沉積與離子體診斷實驗,效果良好.

作 者： 張磊 侯想 胥明 夏明榮 馬志斌 ZHANG Lei HOU Xiang XU Ming XIA Ming-rong MA Zhi-bin   作者單位： 張磊,侯想,胥明,馬志斌,ZHANG Lei,HOU Xiang,XU Ming,MA Zhi-bin(武漢工程大學,等離子體化學與新材料省重點實驗室,湖北,武漢,430074)

夏明榮,XIA Ming-rong(杭州大華儀器制造有限公司,浙江,杭州,311400) 

刊 名： 大學物理  PKU 英文刊名： COLLEGE PHYSICS  年，卷(期)： 2009 28(6)  分類號： O4-33  關鍵詞： 微波等離子體   金剛石膜沉積   離子體診斷  

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