脈沖電弧放電電離甲醇溶液制備碳膜的研究

利用脈沖電弧放電電離甲醇溶液在常壓下研究了含金剛石成分的碳膜的制備.用掃描電子顯微鏡(SEM)、傅里葉紅外光譜(FT-IR)、激光Raman光譜和X射線衍射(XRD)研究了在確定的基片溫度下甲醇濃度以及放電電壓等沉積條件對薄膜的形貌和金剛石的合成的影響.研究結果表明:在放電電壓低于2kV時,薄膜主要由無序石墨和無定形碳組成.提高放電電壓有助于金剛石的合成,在高的放電電壓下,降低甲醇溶液濃度有利于提高碳膜中金剛石成分的含量.

作 者： 馬志斌 萬軍 張文文 汪建華 王升高   作者單位： 武漢化工學院材料科學與工程系,湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室,武漢,430073  刊 名： 無機化學學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY  年，卷(期)： 2003 19(8)  分類號： O613.71  關鍵詞： 脈沖電弧放電   甲醇溶液   碳膜   金剛石  

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