硅微技術(shù)在導(dǎo)航、制導(dǎo)與控制中的應(yīng)用及發(fā)展趨勢(shì)

主要對(duì)近幾年來(lái)微機(jī)電系統(tǒng)的技術(shù)進(jìn)步和應(yīng)用情況作了介紹,特別對(duì)基于微機(jī)電技術(shù)的敏感器和執(zhí)行機(jī)構(gòu)在航空和航天領(lǐng)域的導(dǎo)航、制導(dǎo)和控制方面的應(yīng)用進(jìn)展作了較為詳細(xì)的敘述,最后指出了MEMS技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)和目前正在突破的關(guān)鍵技術(shù).

作 者： 周鳳岐 劉智平 周軍 ZHOU Feng-qi LIU Zhi-ping ZHOU Jun   作者單位： 西北工業(yè)大學(xué),航天學(xué)院,陜西,西安,710072  刊 名： 測(cè)控技術(shù)  ISTIC PKU 英文刊名： MEASUREMENT & CONTROL TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2007 26(3)  分類(lèi)號(hào)： V241  關(guān)鍵詞： 硅微敏感器   導(dǎo)航、制導(dǎo)與控制   執(zhí)行機(jī)構(gòu)   噪聲模型  

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