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基于光對準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補(bǔ)償技術(shù)

時(shí)間:2023-04-27 09:57:07 航空航天論文 我要投稿
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基于光對準(zhǔn)的多傳感器軸裝配誤差補(bǔ)償技術(shù)

含有多傳感器的微機(jī)電系統(tǒng)在組裝傳感器時(shí),一般存在著軸對準(zhǔn)問題,軸的非對準(zhǔn)誤差能導(dǎo)致很大的系統(tǒng)測量誤差.為此提出一種基于光對準(zhǔn)的誤差補(bǔ)償方法,可以在不需要高精度軸對準(zhǔn)的前提下,對裝配后的組件進(jìn)行后續(xù)誤差檢測和實(shí)時(shí)補(bǔ)償,有效地消除裝配誤差對測量精度的影響.將該方法實(shí)施于微機(jī)電方位水平儀,用以測量姿態(tài),通過仿真結(jié)果證實(shí)了方法的有效性.

作 者: 朱榮 周兆英 孫雪峰   作者單位: 清華大學(xué),精密儀器與機(jī)械學(xué)系,北京,100084  刊 名: 清華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)  ISTIC EI PKU 英文刊名: JOURNAL OF TSINGHUA UNIVERSITY(SCIENCE AND TECHNOLOGY)  年,卷(期): 2002 42(11)  分類號: V447  關(guān)鍵詞: 微機(jī)電系統(tǒng)   多傳感器   軸裝配誤差   光對準(zhǔn)   誤差補(bǔ)償  

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