退火對ZnO薄膜結構及發光特性的影響

生長在藍寶石C面上的ZnO薄膜是通過等離子體金屬有機物化學汽相淀積方法獲得的,由其X光衍射得知,生長過程中分段退火和最后退火在薄膜中分別引入了張應力和壓應力.通過對樣品光致發光光譜研究表明:分段退火樣品在380 nm附近出現了單一激子發射峰,而最后退火樣品卻出現了與應變有關的Γ?5和Γ?6兩激子發射峰,同時在兩者的光致發光光譜中與深能級有關的熒光峰都未出現.

作 者： 王金忠 杜國同 王新強 閆瑋 馬燕 姜秀英 楊樹人 高鼎三 Liu Xiang Cao Hui Xu Junying CHANG R P H   作者單位： 王金忠,杜國同,王新強,閆瑋,馬燕,姜秀英,楊樹人,高鼎三(吉林大學電子工程系光電子聯合重點實驗室,長春,130023)

Liu Xiang,Cao Hui,Xu Junying,CHANG R P H(Material Research Center, Northwestern University, U.S.A.) 

刊 名： 光學學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA OPTICA SINICA  年，卷(期)： 2002 22(2)  分類號： O484.4+1  關鍵詞： 等離子體金屬有機物化學汽相淀積   半高寬   光致發光光譜  

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