衍射光學束勻滑器件性能的空間頻譜分析

采用空間頻譜方法分析了衍射光學束勻滑器件的焦面光強分布,重新定義了光能利用率及頂部不均勻性兩個參數,由于其定義的溯源性,能夠真實準確地評價束勻滑器件的設計性能.最后,采用這兩個參數對精細化設計前后的衍射光學束勻滑器件性能進行了對比,結果證明了精細化設計的有效性.

作 者： 譚峭峰 嚴瑛白 金國藩 鄔敏賢 徐端頤   作者單位： 清華大學精密測試技術與儀器國家重點實驗室,北京,100084  刊 名： 中國激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2002 29(8)  分類號： O436.1  關鍵詞： 空間頻譜   衍射光學器件   束勻滑   精細化設計  

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