坡莫合金/銅磁性多層膜微觀力學性能的研究

本文用直流磁控濺射方法在玻璃基片上制備了具有不同坡莫合金層厚度的坡莫合金/銅磁性多層膜,并采用納米力學系統分別以壓痕法、劃痕法測定了坡莫合金層厚度對多層膜顯微硬度、彈性模量以及劃痕的臨界載荷、寬度和深度等的影響.研究結果表明:在既定的接觸深度,多層膜的顯微硬度及彈性模量隨坡莫合金層厚度變化不大,它們分別約為4.5 GPa和80 GPa,比坡莫合金單層膜的值低而比銅單層膜的值高;坡莫合金層厚度對多層膜微觀摩擦學性能有較大的影響:隨坡莫合金層厚度減小,特別是當其小于等于1.6 nm時,劃痕有較高的臨界載荷、較小的寬度和較淺的殘余深度;多層膜的劃痕臨界載荷高于坡莫合金單層膜的值.

作 者：   作者單位：   刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分類號： O484.2  關鍵詞： 坡莫合金   銅磁性多層膜   微觀力學性能   壓痕   劃痕  

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