基于微機電系統CAD研究分析

微機電系統(MEMS)的計算機輔助設計(CAD)是MEMS實現商品化的重要基礎,CAD技術在MEMS研究過程中具有非常重要的作用.本文概述了微機電系統CAD的研究進展,并介紹了國外在該領域的研究工作.重點研究了微機電系統中的耦合場分析和宏模型與系統級模擬等關鍵技術問題,針對其與傳統機電系統的不同,總結了微機電系統CAD的特點,并據此提出了微機電系統的設計原則.以便能提高微型機電系統的設計質量,縮短研制周期,使之及早走向工業化.

作 者： 陳蓉暉   作者單位： 湘潭職業技術學院,機電系,湖南,湘潭,411102  刊 名： 咸寧學院學報  英文刊名： JOURNAL OF XIANNING COLLEGE  年，卷(期)： 2009 29(3)  分類號： P393  關鍵詞： 微機電系統(MEMS)   計算機輔助設計(CAD)   設計原則  

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