基于光源掃描的三角法位移測量方法

對激光三角法測量位移的幾種光路布局方案及其特點進行了比較,在此基礎上,提出了一種新的基于光源掃描的三角法激光位移測量方法,闡述了激光三角法測量原理,并設計了相應的測量系統,分析了影響系統精度的因素.理論分析可知,該系統的測量分辨力可達到1.5×10-5 m.實驗結果表明:此系統有很強的實用性,測量范圍為0 mm～10 m,適用于工業生產.

作 者： 王玉田 劉輝 張玉燕 劉少勛 WANG Yu-tian LIU Hui ZHANG Yu-yan LIU Shao-xun   作者單位： 燕山大學,電氣工程學院,河北,秦皇島,066004  刊 名： 傳感器與微系統  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(10)  分類號： P221  關鍵詞： 三角法   位移測量   電荷耦合器件  

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