全柔性機(jī)構(gòu)與MEMS

摘要：柔性機(jī)構(gòu)是一種新型機(jī)構(gòu)。首先描述了柔性機(jī)構(gòu)和全柔性機(jī)構(gòu)的概念及特點(diǎn),論述了它們與MEMS之間的關(guān)系。然后詳細(xì)介紹了全柔性機(jī)構(gòu)在MEMS領(lǐng)域內(nèi)包括微裝配、微操作等應(yīng)用背景下的狀況及前景。最后就對全柔性機(jī)構(gòu)研究中的幾個關(guān)鍵技術(shù)問題如機(jī)構(gòu)的分析、設(shè)計及加工,柔性鉸鏈的選擇與設(shè)計,驅(qū)動器的選擇及設(shè)計等進(jìn)行了探討。Abstract：Compliant mechanisms are devices that deliver a desired motion by undergoing elastic deformation. A tyhttps://p.9136.com/1wpliant mechanisms is called fully compliant mechanism. Owing to their serveral significant advantages relative to c onventional mechanisms such as no backlash and friction, and no assembly, complia nt mechanisms especially fully compliant mechanisms have been applied to many fields especially in MEMS. So research on compliant mechanisms and fully compliant mechanisms has been a hot issue in recent years. This paper firstly describes their concepts, characteristics and applications in MEMS. Finally several critical techniques and tendencies such as the analysis, design and fabrication of fully compliant mechanisms, selection and design of flexure hinge, selection, desgin and control of the actuator etc. are discussed. 作者： 于靖軍  宗光華  畢樹生 Author： YU Jing-jun  ZONG Guang-hua  BI Shu-sheng 作者單位： 北京航空航天大學(xué)機(jī)器人研究所, 期 刊： 光學(xué)精密工程   ISTICEIPKU Journal： OPTICS AND PERCISION ENGINEERING 年，卷(期)： 2001, 9(1) 分類號： ATP23 關(guān)鍵詞： 柔性機(jī)構(gòu)    全柔性機(jī)構(gòu)    柔性鉸鏈    微型機(jī)電系統(tǒng)    機(jī)標(biāo)分類號： TH1 TP2 機(jī)標(biāo)關(guān)鍵詞： 全柔性機(jī)構(gòu)    compliant mechanisms    elastic deformation    flexure hinge    設(shè)計    選擇    柔性鉸鏈    技術(shù)問題    微裝配    微操作    驅(qū)動器    狀況    應(yīng)用    描述    加工    概念 基金項(xiàng)目： 國家自然科學(xué)基金，國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃) 全柔性機(jī)構(gòu)與MEMS[期刊論文]  光學(xué)精密工程 --2001, 9(1)于靖軍  宗光華  畢樹生柔性機(jī)構(gòu)是一種新型機(jī)構(gòu)。首先描述了柔性機(jī)構(gòu)和全柔性機(jī)構(gòu)的概念及特點(diǎn),論述了它們與MEMS之間的關(guān)系。然后詳細(xì)介紹了全柔性機(jī)構(gòu)在MEMS領(lǐng)域內(nèi)包括微裝配、微操作等應(yīng)用背景下的狀況及前景。最后就對全柔性機(jī)構(gòu)研究中的幾個...

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