微型半球陀螺儀的誤差源研究

討論了微型半球陀螺儀特有的一些誤差源,主要有感測電路上的量測誤差、電極與薄殼間電容的非線性效應誤差、溫度變化所引發的熱漂移、線加速度所引發的誤差以及非對稱結構和非對稱阻尼誤差等.對上述誤差源的認識是微結構制造和電路設計的基礎.

作 者： 倪受東 吳洪濤 嵇海平 朱劍英 NI Shou-dong WU Hong-tao JI Hai-ping ZHU Jian-ying   作者單位： 倪受東,NI Shou-dong(南京航空航天大學,機電學院,江蘇,南京,210016;南京工業大學,機械與動力工程學院,江蘇,南京,210009)

吳洪濤,嵇海平,朱劍英,WU Hong-tao,JI Hai-ping,ZHU Jian-ying(南京航空航天大學,機電學院,江蘇,南京,210016) 

刊 名： 傳感器與微系統  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(1)  分類號： V241.6  關鍵詞： 微型半球陀螺儀   量測誤差   非線性效應   熱漂移   結構誤差  

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