摻磷納米硅薄膜的微結構

采用喇曼(Raman)散射譜、高分辨率電子顯微鏡(HRTEM)和原子力顯微鏡(AFM)對摻磷納米硅薄膜的微結構進行了分析,并對納米硅薄膜的傳導機制進行了探討.結果表明:摻磷納米硅薄膜由尺寸為2～4*#nm的晶粒和2～3個原子層厚的非晶界面構成,計算得到薄膜的晶態比為40%～55%.與本征納米硅薄膜相比,摻磷納米硅薄膜晶粒尺寸和晶態比沒有明顯變化,電導率卻提高了2個數量級.隨著摻磷濃度增加,納米硅薄膜的晶粒尺寸、晶態比及電導率逐漸增大.AFM觀察表明摻磷納米硅薄膜由尺寸介于15～20*#nm的團簇構成,團簇排列具有帶狀特征.

作 者： 于曉梅 王金良 江興流 王天民   作者單位： 北京航空航天大學,理學院  刊 名： 北京航空航天大學學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OF AERONAUTICS AND ASTRONAUTICS  年，卷(期)： 2002 28(5)  分類號： O484.1  關鍵詞： 硅薄膜   晶粒   顯微鏡   團簇  

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