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射頻等離子體鞘層動力學模型

時間:2023-04-30 06:19:08 數理化學論文 我要投稿
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射頻等離子體鞘層動力學模型

在流體力學方程的基礎上建立了一種自洽的無碰撞射頻等離子體鞘層動力學模型.這種自治性包含兩個方面:一方面,由于考慮了瞬時鞘層電場對離子運動的影響,因此該模型適用于描述任意頻率段的射頻鞘層演化過程;另一方面,在模型中采用等效電路方法來自洽地確定極板上的瞬時電位與瞬時鞘層厚度之間的關系.采用數值方法模擬出鞘層的瞬時厚度及極板的瞬時電位變化、鞘層內離子密度和電場強度等物理量的時空變化.結果表明,當射頻場的頻率小于或等于離子等離子體頻率時,離子流密度明顯地隨時間變化.

作 者: 戴忠玲 王友年 馬騰才   作者單位: 大連理工大學物理系,大連,116024  刊 名: 物理學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名: ACTA PHYSICA SINICA  年,卷(期): 2001 50(12)  分類號: O53  關鍵詞: 射頻   離子   鞘層   流體力學  

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