絨面ZnO:Al(ZAO)透明導電薄膜的制備

利用中頻交流磁控濺射方法,采用氧化鋅鋁(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制備了絨面ZAO(ZnO:Al)薄膜,考察了所制備的絨面ZAO薄膜與絨面SnO2:F薄膜在絨度、粗糙度、表面形貌以及電學性質的差異,利用原子力顯微鏡對薄膜表面形貌進行了分析并計算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可見分光光度計和電阻測試儀測量了薄膜的光學、電學特性.結果表明:所制備的絨面ZAO薄膜具有與絨面SnO2:F薄膜相比擬的各種性能,在非晶硅太陽電池中具有潛在的應用前景.

作 者： 付恩剛 方玲 莊大明 張弓   作者單位： 清華大學機械工程系,北京,100084  刊 名： 太陽能學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA  年，卷(期)： 2003 24(5)  分類號： O484  關鍵詞： 磁控濺射   絨面   ZAO薄膜   SnO2:F薄膜  

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