溶膠-凝膠法制備寬帶減反膜

為了克服單層減反射膜剩余反射高,色彩還原性能差的缺點,需要制備寬帶減反膜.納米多孔SiO2薄膜可以實現很好的寬帶減反效果.本文用光學薄膜設計程序模擬了光學參數的變化對薄膜光學性能的影響,優化了薄膜的光學參數.實驗上通過酸堿兩步法和溶膠-凝膠技術制備了折射率梯度的納米多孔SiO2寬帶減反膜.采用橢偏儀、FE-SEM、紫外-可見分光光度計等方法研究薄膜的光學特性和表面形貌.結果表明實驗制備的SiO2薄膜具有可控的納米多孔結構,折射率在1.18～1.43之間可連續調節.形成的寬帶減反膜在可見光區域的平均反射率僅為0.44%.

作 者： 付甜 吳廣明 沈軍 肖軼群 張志華 楊帆 王玨   作者單位： 同濟大學,波耳固體物理研究所,上海,200092  刊 名： 功能材料  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS  年，卷(期)： 2003 34(5)  分類號： O484  關鍵詞： 寬帶減反膜   溶膠-凝膠   折射率調節  

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