MEMS薄膜彈性模量及殘余應力提取的數值算法

材料彈性模量、殘余應力的在線提取,已成為MEMS領域中日益迫切的需要.文中首先簡要介紹現有的一些主要的材料參數提取方法,然后提出了一種無需靜電作用下兩端固支梁吸合電壓的顯式解析表達式,而是利用決定靜電作用固支梁彎曲撓度的微分方程直接計算吸合電壓,再提取材料參數的算法.避免了在推導吸合電壓的顯式表達式過程中可能引入的誤差,有利于保證材料參數測量的精度.模擬結果表明這種算法速度快、精度高,對實際應用有較好的參考價值.

作 者： 戎華 陳涵 王鳴 RONG Hua CHEN Han WANG Ming   作者單位： 南京師范大學光電技術江蘇省重點實驗室,南京,210097  刊 名： 傳感技術學報  ISTIC PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SENSORS AND ACTUATORS  年，卷(期)： 2008 21(3)  分類號： O484.2 O484.5  關鍵詞： 材料參數測量   數值算法   吸合電壓  

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