Z軸硅微機械陀螺儀溫度特性研究

硅陀螺儀是近年來發展起來的一種新型角速度傳感器,溫度變化是其主要誤差源之一.分析了溫度變化對硅微陀螺儀的諧振頻率和品質因數的影響,并選擇常溫下機械品質因數不同的兩個陀螺在-40℃～80℃溫度范圍內進行測試,得出機械品質因數和諧振頻率隨溫度變化規律.實驗結果驗證了陀螺儀諧振頻率隨溫度升高而線形下降;溫度變化時,封裝陀螺儀抽真空度對陀螺機械品質因數產生明顯影響.

作 者： 陳淑鈴 楊波 王壽榮 CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong   作者單位： 東南大學儀器科學與工程學院,南京,210096  刊 名： 電子器件  ISTIC 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF ELECTRON DEVICES  年，卷(期)： 2008 31(6)  分類號： V241.59  關鍵詞： 微機械陀螺儀   溫度特性  

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