超硬多層薄膜的研究現狀及展望

超硬多層薄膜的性能隨調制周期的變化而發生變化,在某一范圍出現超模、超硬等異常效應.由于其潛在的實際應用價值及理論意義,超硬多層薄膜成為近年來人們研究的熱點.綜述了近年來國內外學者對超硬多層薄膜的研究結果,介紹了其超硬多層薄膜類型、主要性能特點以及制備工藝,并對未來的發展趨勢進行了展望.

作 者： 李寧 宋緒丁 LI Ning SONG Xu-ding   作者單位： 長安大學工程機械學院,陜西,西安,710064  刊 名： 材料保護  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF MATERIALS PROTECTION  年，卷(期)： 2005 38(7)  分類號： V261.93  關鍵詞： 超硬多層薄膜   超晶格薄膜   納米多層膜   類金剛石  

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