干涉法測量鋁薄膜的軸向應力

將干涉法測量圓薄膜應力的方法推廣到橢圓形鋁薄膜,利用Stoney公式和牛頓環(huán)原理測量了常溫下鋁薄膜長軸和短軸方向上軸向應力的大小,給出了應力分布圖像.

作 者： 周思 陳迅馳 周惠君 王思慧 ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui   作者單位： 南京大學,物理學系,江蘇,南京,210089  刊 名： 物理實驗  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2008 28(9)  分類號： O484.2  關鍵詞： 薄膜應力   軸向應力   切向應力   Stoney公式   牛頓環(huán)   曲率半徑  

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