干涉法測量鋁薄膜的軸向應力

將干涉法測量圓薄膜應力的方法推廣到橢圓形鋁薄膜,利用Stoney公式和牛頓環原理測量了常溫下鋁薄膜長軸和短軸方向上軸向應力的大小,給出了應力分布圖像.

作 者： 周思 陳迅馳 周惠君 王思慧 ZHOU Si CHEN Xun-chi ZHOU Hui-jun WANG Si-hui   作者單位： 南京大學,物理學系,江蘇,南京,210089  刊 名： 物理實驗  PKU 英文刊名： PHYSICS EXPERIMENTATION  年，卷(期)： 2008 28(9)  分類號： O484.2  關鍵詞： 薄膜應力   軸向應力   切向應力   Stoney公式   牛頓環   曲率半徑  

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